前言：
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，射頻電源主要用于刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等環(huán)節(jié)。射頻電源作為半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件之一，伴隨半導(dǎo)體市場(chǎng)空間同步成長(zhǎng)，未來(lái)其主要增長(zhǎng)點(diǎn)來(lái)自晶圓廠新增擴(kuò)產(chǎn)及存量替換市場(chǎng)需求。近年來(lái)，中國(guó)半導(dǎo)體射頻電源展現(xiàn)出強(qiáng)勁增長(zhǎng)勢(shì)頭，成全球半導(dǎo)體射頻電源主要市場(chǎng)之一。全球半導(dǎo)體射頻電源供應(yīng)集中于美、日等發(fā)達(dá)地區(qū)，而國(guó)內(nèi)目前尚無(wú)成熟的半導(dǎo)體射頻電源生產(chǎn)商，市場(chǎng)主要由國(guó)外企業(yè)壟斷，國(guó)產(chǎn)化率較低。隨著半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，北方華創(chuàng)恒運(yùn)昌等企業(yè)在下游設(shè)備廠商的支持下逐漸嶄露頭角，并實(shí)現(xiàn)批量訂單的突破。
一、在半導(dǎo)體領(lǐng)域，射頻電源主要用于刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等環(huán)節(jié)
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體射頻電源行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)分析與投資前景研究報(bào)告（2025-2032）》顯示，射頻電源是可以產(chǎn)生300KHz-300MHz頻率的高頻交流電源,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體 、光伏、面板等領(lǐng)域。
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，射頻電源主要用于刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等環(huán)節(jié)。在干法刻蝕(等離子刻蝕)設(shè)備中，射頻電源主要為其提供穩(wěn)定的射頻源;在薄膜沉積的PEVCD、HDPCVD、PEALD、PVD設(shè)備中，射頻電源主要作用是提供穩(wěn)定射頻源、維持等離子體和控制高能粒及使工藝氣體電離;在干法清洗、離子注入環(huán)節(jié)，射頻電源主要將氣體電離、提供穩(wěn)定射頻源以產(chǎn)生等離子體。
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二、射頻電源行業(yè)伴隨半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)同步成長(zhǎng)，未來(lái)增長(zhǎng)點(diǎn)主要來(lái)自晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)及存量替換需求
射頻電源作為半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件之一，伴隨半導(dǎo)體市場(chǎng)空間同步成長(zhǎng)。根據(jù)數(shù)據(jù)，2022、2023年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1076億美元、1063億美元，全球射頻電源下游設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為556億美元、549億美元。按照射頻電源占設(shè)備價(jià)值量比率的10%，2022、2023年全球半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)規(guī)模達(dá)389億元、384億元。
射頻電源未來(lái)主要增長(zhǎng)點(diǎn)來(lái)自晶圓廠新增擴(kuò)產(chǎn)及存量替換市場(chǎng)需求。射頻發(fā)生器是射頻電源的重要組成部分，2022年射頻發(fā)生器在晶圓廠零部件采購(gòu)中占比達(dá)10%，僅次于石英（11%）。射頻電源使用壽命約為5-6年，短于半導(dǎo)體腔體的使用壽命，需要定期進(jìn)行維?；蚋鼡Q，部分晶圓廠有直接備存射頻電源的需求。
預(yù)計(jì)2024、2025年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1090億美元、1280億美元，全球射頻電源下游設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為563億美元、661億美元。預(yù)計(jì)2024、2025年全球半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)規(guī)模達(dá)394億元、463億元。
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三、中國(guó)增長(zhǎng)勢(shì)頭強(qiáng)勁，成全球半導(dǎo)體射頻電源主要市場(chǎng)之一
近年來(lái)，中國(guó)半導(dǎo)體射頻電源展現(xiàn)出強(qiáng)勁增長(zhǎng)勢(shì)頭，成全球半導(dǎo)體射頻電源主要市場(chǎng)之一。根據(jù)數(shù)據(jù)，2024年中國(guó)大陸半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)規(guī)模約達(dá)102億元，占全球的比重達(dá)25.89%；預(yù)計(jì)2025年中國(guó)大陸半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)規(guī)模約達(dá)120億元，占全球的比重達(dá)25.92%。
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四、全球半導(dǎo)體射頻電源供應(yīng)集中于美、日等發(fā)達(dá)地區(qū)，中國(guó)企業(yè)崛起下國(guó)產(chǎn)訂單有望持續(xù)放量
全球半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)分布集中。從區(qū)域競(jìng)爭(zhēng)看，全球半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)供應(yīng)主要集中在北美和日本，2022年這兩個(gè)地區(qū)合計(jì)占據(jù)近60%的市場(chǎng)份額，其中北美占36.04%，日本占23.17%。
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從企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)看，全球半導(dǎo)體射頻電源頭部供應(yīng)廠商主要來(lái)自美、日、德，包括萬(wàn)機(jī)儀器MKS、先進(jìn)能源AE、日本大阪變壓器株式會(huì)社和XPPower等，這些企業(yè)占據(jù)絕大多數(shù)市場(chǎng)份額。根據(jù)數(shù)據(jù)，2021年全球前五大廠商市場(chǎng)份額高達(dá)80.47%。
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國(guó)內(nèi)目前尚無(wú)成熟的半導(dǎo)體射頻電源生產(chǎn)商，市場(chǎng)主要由國(guó)外企業(yè)壟斷，國(guó)產(chǎn)化率較低。但一些研發(fā)單位如北京北廣科技股份有限公司、四川英杰電氣股份有限公司、江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司和深圳恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司等正在崛起。隨著半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，這些企業(yè)在下游設(shè)備廠商的支持下逐漸嶄露頭角，并實(shí)現(xiàn)批量訂單的突破。
國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體射頻電源生產(chǎn)商布局情況
| 企業(yè)名稱 | 簡(jiǎn)介 | 布局情況 |
| 北方華創(chuàng) | 北方華創(chuàng)是北京市國(guó)資委一級(jí)企業(yè)北京電子控股有限責(zé)任公司下屬的國(guó)有控股公司，成立于2001年9月28日，2010年3月1日在深圳證券交易所上市，是一家以電子專用設(shè)備和電子元器件為主要產(chǎn)品，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)于一體的大型綜合性高科技公司，目前已成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體裝備制造與服務(wù)商。 | 2020年，北方華創(chuàng)微電子以6397萬(wàn)人民幣收購(gòu)了北廣科技射頻應(yīng)用技術(shù)相關(guān)資產(chǎn)，這一舉措是北方華創(chuàng)在射頻電源領(lǐng)域的重要布局。北方華創(chuàng)微電子是國(guó)內(nèi)先進(jìn)的半導(dǎo)體裝備研發(fā)制造企業(yè)，主要產(chǎn)品有刻蝕機(jī)、PVD、CVD、ALD、立式爐和清洗機(jī)等，產(chǎn)品廣泛服務(wù)于集成電路、先進(jìn)封裝、第三代半導(dǎo)體器件、半導(dǎo)體照明、新能源光伏等領(lǐng)域。射頻應(yīng)用技術(shù)是半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品的核心技術(shù)之一，收購(gòu)有利于提高北方華創(chuàng)射頻應(yīng)用技術(shù)水平，增強(qiáng)北方華創(chuàng)微電子半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品技術(shù)開(kāi)發(fā)與應(yīng)用能力，更好的滿足客戶需求，利于雙方持續(xù)發(fā)展;通過(guò)收購(gòu)，北方華創(chuàng)在射頻電源領(lǐng)域的市場(chǎng)地位得到顯著提升，部分產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，為公司帶來(lái)了新的增長(zhǎng)點(diǎn)。2024年九月北方華創(chuàng)在互動(dòng)平臺(tái)表示，隨著近年來(lái)國(guó)內(nèi)零部件供應(yīng)商能力快速提升，公司國(guó)內(nèi)采購(gòu)比例也逐年增加，公司自研的射頻電源已經(jīng)批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品上。公司成功研發(fā)出高密度等離子體化學(xué)氣相沉積(HDPCVD)、雙大馬士革CCP刻蝕機(jī)、立式爐原子層沉積(ALD)、高介電常數(shù)原子層沉積(ALD)等多款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端設(shè)備，并在多家客戶端實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)。 |
| 恒運(yùn)昌 | 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司是一家科技型中小企業(yè)和高新技術(shù)企業(yè)，成立于2013年3月19日，位于深圳市寶安區(qū)，專業(yè)從事等離子體射頻電源系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售以及維護(hù)。主要業(yè)務(wù):公司業(yè)務(wù)涵蓋等離子體電源系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、氣體流量控制系統(tǒng)的研發(fā)設(shè)計(jì)、智能制造及技術(shù)進(jìn)出口等，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、LED/LCD、先進(jìn)工業(yè)鍍膜等高端真空設(shè)備。 | 研發(fā)能力強(qiáng)，提供射頻電源等“卡脖子”技術(shù)產(chǎn)品。公司核心團(tuán)隊(duì)深耕射頻電源領(lǐng)域多年，已累計(jì)獲得數(shù)十項(xiàng)發(fā)明專利授權(quán)，現(xiàn)有51個(gè)注冊(cè)商標(biāo)、255個(gè)專利信息和19個(gè)軟件著作權(quán)，已突破多項(xiàng)國(guó)內(nèi)現(xiàn)有技術(shù)，掌握全數(shù)字測(cè)量系統(tǒng)、全數(shù)字環(huán)路控制技術(shù)、高效寬帶平衡功放技術(shù)等核心技術(shù)，主導(dǎo)制定了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全數(shù)字電源技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，深度參與了國(guó)家工信部和科技部的重大專項(xiàng)課題。經(jīng)過(guò)多年研發(fā)積累和客戶驗(yàn)證，深圳恒運(yùn)昌已經(jīng)打破海外供應(yīng)商壟斷，是率先進(jìn)入IC前道設(shè)備的國(guó)內(nèi)射頻電源供應(yīng)商。長(zhǎng)期以來(lái)，等離子體電源系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化率極低，徘徊在1-5%之間，成為了集成電路產(chǎn)業(yè)被“卡脖子”最嚴(yán)重的環(huán)節(jié)之一。恒運(yùn)昌陸續(xù)推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，響應(yīng)了集成電路芯片制造工藝中對(duì)等離子體電源快、準(zhǔn)、穩(wěn)的核心需求，率先在國(guó)內(nèi)攻克了全數(shù)字射頻電源的技術(shù)難題。此外，已在28納米及以上成熟制程的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的替換，最新一代產(chǎn)品隨國(guó)內(nèi)龍頭廠商進(jìn)入14納米先進(jìn)制程終端晶圓廠，有力支撐了集成電路生產(chǎn)的延續(xù)性、擴(kuò)產(chǎn)的延續(xù)性和供應(yīng)鏈延續(xù)性。 |
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