隨著機器人技術(shù)的快速發(fā)展,機器人應(yīng)用越來越聚焦于機器人與環(huán)境發(fā)生交互的場景,如打磨拋光、柔順裝配、醫(yī)療康復(fù)等,對機器人柔順控制的需求快速增長。對人形/四足機器人、外骨骼機器人而言,柔順控制對于復(fù)雜地形的通過能力、人機柔順交互能力也非常重要。力矩和位置結(jié)合,機器人可以實現(xiàn)更加柔性的控制。
力矩傳感器又稱扭矩傳感器,可在各種旋轉(zhuǎn)或非旋轉(zhuǎn)機械部件上對扭轉(zhuǎn)力矩感知進(jìn)行檢測,將扭力的物理變化轉(zhuǎn)化為精確的電信號,具有精度高、頻響快、可靠性好、壽命長等優(yōu)點。力矩傳感器是機械臂的關(guān)鍵部件之一,可為機械臂提供實時的力和力矩信息,實現(xiàn)機械臂對操作對象的力感知,從而協(xié)助機械臂完成精細(xì)和智能的操作任務(wù)。
人形機器人中,六維力矩傳感器主要用在對柔順控制要求高的手腕和腳踝。按照測量維度,力矩傳感器可分為一至六維力矩傳感器,其中一維傳感器、三維傳感器和六維傳感器最為常見。六維力傳感器也被稱為六軸力/力矩傳感器、F/T傳感器,用于精確測量X、Y、Z三個方向的力信息和Mx、My、Mz三個維度的力矩信息。人形機器人中,對柔順控制要求高的手腕和腳踝或?qū)⑹褂昧S力矩傳感器,而身體的其他關(guān)節(jié)將使用關(guān)節(jié)扭矩傳感器(單維)。
按照壓力原件分類,硅應(yīng)變片式力傳感器性能最優(yōu),壓電式轉(zhuǎn)換元件主要應(yīng)用在非六維力傳感器中。根據(jù)轉(zhuǎn)換元件的不同,傳感器主要分為應(yīng)變式力傳感器、光學(xué)式傳感器以及壓電式力傳感器:
1)應(yīng)變式力傳感器:采用的是硅應(yīng)變片或金屬箔,壓電式傳感器可分為電容和壓電兩種。其原理都是轉(zhuǎn)換元件應(yīng)變片隨力敏元件同時發(fā)生形變,導(dǎo)致自身電阻值、電壓差、光柵變化,通過電信號反應(yīng)力和力矩的改變。硅應(yīng)變片能夠保持高剛度、穩(wěn)定性和信噪比,缺點是成本較高、制作工藝復(fù)雜;
2)光學(xué)式元件:測量范圍較廣、抗電磁干擾能力強,但缺點是剛性偏弱,并且對環(huán)境的要求較高;
3)壓電/電容式元件:擁有高靈敏度和高分辨率,并且環(huán)境適用性較強,但缺點是電路復(fù)雜,信號漂移難以抑制。
不同轉(zhuǎn)換元件類型力傳感器的測量原理
類型 | 測量原理 |
應(yīng)變片 | 應(yīng)變片形變后自身電阻值變化 |
光學(xué)式 | 轉(zhuǎn)換元件形變后通過光柵反映形變 |
電容式 | 形變后極距的變化導(dǎo)致電壓變化 |
壓電式 | 形變后改變電荷 |
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根據(jù)觀研報告網(wǎng)發(fā)布的《中國六維力矩傳感器行業(yè)現(xiàn)狀深度研究與發(fā)展前景分析報告(2025-2032年)》顯示,六維力測量的需求最早來自航空航天飛行器研究領(lǐng)域,安裝在飛行器內(nèi)部的六維力傳感器用來測量飛行器的空氣動力學(xué)特性,逐漸應(yīng)用到汽車測試、生物力學(xué)、機器人等領(lǐng)域。隨著機器人技術(shù)的不斷進(jìn)步,機器臂在噴涂、上下料、分揀、碼垛、焊接等應(yīng)用場景中的技術(shù)已經(jīng)相對成熟。
我國形成了比較完善的工業(yè)機器人產(chǎn)業(yè)鏈,已具備從上游核心零部件到中游本體制造再到下游系統(tǒng)集成的全產(chǎn)業(yè)鏈自主生產(chǎn)能力。近年來,在國家政策的推動下,中國工業(yè)機器人產(chǎn)量得到快速增長。2024年中國規(guī)上工業(yè)機器人產(chǎn)量55.6萬套,同比增長14.2%。
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從2024年中國工業(yè)機器人市場銷量結(jié)構(gòu)來看,六軸機器人銷量占比為63.97%;SCARA機器人銷量占比為23.86%;協(xié)作機器人銷量占比為10.53%;并聯(lián)機器人銷量占比為1.64%。
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六維力矩傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域,主要包括工業(yè)機器人、人形機器人、汽車、電子、醫(yī)療、航空航天等。機器人是六維力矩傳感器的重要應(yīng)用領(lǐng)域。2023年12月,特斯拉發(fā)布OptimusGen2的更新視頻。視頻顯示,六維力矩傳感器于應(yīng)用于Optimus的手腕及腳踝處,使Optimus結(jié)構(gòu)更簡潔,對力的感知和控制效果更好。
在人形機器人領(lǐng)域,大致分為以下三個方向做硬件層面的力傳感器與力反饋測量:1)電流環(huán):通過電機的電流閉環(huán)做力閉環(huán)反饋控制,適用于直驅(qū)電機或者帶小減速比的應(yīng)用場景,如小型阻抗控制的人機交互的機械臂和小型四足,MITCheetah等;2)力/力矩傳感器:直接使用六維力/力矩傳感器。在人型機器人之中,通常將力/力矩傳感器安裝在:1)腳掌與踝關(guān)節(jié)之間;2)機械手與腕關(guān)節(jié)之間;3)彈性體:設(shè)計彈性體集成在驅(qū)動器對外輸出端之前,往往會形成SEA,通過彈性體形變測量力矩,往往適用于人型機器人集成度較高和驅(qū)動器輸出力矩要求較高的應(yīng)用場合。
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全球六維力和力矩傳感器廠商主要分為歐美、日韓、國產(chǎn)三大陣營:1)歐美地區(qū)廠商:可分為傳統(tǒng)傳感器制造商如ATI、Bota、Kistler等和全球知名機器人末端工具生產(chǎn)商如OnRobot、Robotiq等,后者主要和本地區(qū)協(xié)作機器人廠商合作,包括優(yōu)傲機器人、達(dá)明機器人等。2)日韓廠商:六維力和力矩傳感器廠商主要有Wacoh-Tech、Robotous等,主要配套本地區(qū)機器人廠商發(fā)那科、安川等。3)國內(nèi)廠商:以宇立儀器為代表,已經(jīng)在全球市場開始和歐美、日韓廠商同臺競技,國內(nèi)廠商還有坤維科技、鑫精誠、海伯森、藍(lán)點觸控、神源生智能、瑞爾特測控等。
全球主要六維力和力矩傳感器廠商
廠商 | 簡介 |
Baumer | 1952年以電器開關(guān)起家,后逐漸開發(fā)光學(xué)傳感器、編碼器、力矩、溫度、壓力傳感器等產(chǎn)品,業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋食品飲料、鋼鐵冶金工程機械、軌道交通、生物制藥、工業(yè)自動化等領(lǐng)域的測量與控制。 |
Interface | 1968年以稱重傳感器起家,逐漸開發(fā)矩補償器、力矩校準(zhǔn)器、多維力和力矩傳感器等全套力矩測試產(chǎn)品技術(shù),成為力測量解決方案集成商,業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋工業(yè)自動化、航空航天、汽車等眾多領(lǐng)域。 |
ATI | 1989年成立,主營工具快換裝置、多維力矩傳感器、拋光打磨工具等機器人末端執(zhí)行器,2021年被NOVANTA以2.239億美金收購ATI,作為集團(tuán)進(jìn)軍工業(yè)自動化的技術(shù)支撐。 |
HBM | 1950年以位移傳感器起家,不斷拓展應(yīng)變片、稱重、力和力矩傳感器產(chǎn)品,并開展傳感器OEM代工業(yè)務(wù)。2000年被Spetris收購,并與Brüel&Kj?r合并成HBK公司,作為硬件技術(shù)輔助集團(tuán)進(jìn)軍航空航天、汽車、軌道交通等領(lǐng)域的力測試業(yè)務(wù)。 |
Optoforce | 2012年以機器人力矩傳感器起家,2018年與PerceptionRobotics、onrobot三家公司合并而成現(xiàn)在的onrobot,成為協(xié)作機器人解決方案集成商,Optoforce主要負(fù)責(zé)六維力矩傳感器的研發(fā)生產(chǎn)。 |
Bota | 衍生于蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院機器人系和NTUA控制系統(tǒng)實驗,目前專營面向拋光打磨、組裝示教場景的協(xié)作機器人傳感器 |
AIDIN | 衍生于韓國Sungkyunkwan大學(xué)機器人創(chuàng)新實驗室,以力矩、近覺傳感器、智能抓手為主,主營協(xié)作機器人的力控解決方案。 |
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2007年,宇立儀器成立,成為我國唯一具有汽車碰撞假人多軸力傳感器生產(chǎn)能力的企業(yè),將多維力傳感器引入汽車耐久試驗領(lǐng)域,與上汽、大眾等車企展開合作,解決了這個領(lǐng)域卡脖子的問題。業(yè)務(wù)領(lǐng)域從汽車碰撞假人拓展至工業(yè)、手術(shù)機器人等,同時進(jìn)軍機器人智能打磨行業(yè)。坤維科技2018以航空航天六維力矩傳感器技術(shù)起家,主營工業(yè)自動化、醫(yī)療、航空航天、工業(yè)測試等領(lǐng)域的力控解決方案。宇立儀器擁有六維力和力矩傳感器機械加工、貼片、焊接等全流程完整自主知識產(chǎn)權(quán),生產(chǎn)工藝獲得CNAS認(rèn)證,同美國規(guī)范一致。
國內(nèi)主要力矩傳感器生產(chǎn)廠商
品牌 | 簡介 |
宇立儀器 | 作為全球領(lǐng)先的六軸力傳感器供應(yīng)商,產(chǎn)品應(yīng)用于機器人及自動化、汽車碰撞測試、汽車耐久測試、生物力學(xué)和通用試驗設(shè)備等多個領(lǐng)域。自2007年以來,宇立儀器設(shè)計生產(chǎn)了9大系列,200多個型號的多軸力傳感器,從一軸至六軸,都有相應(yīng)的產(chǎn)品。擁有4500平米的生產(chǎn)車間,包括機械加工、潔凈傳感器生產(chǎn)車間、組裝車間和測試車間等完善的生產(chǎn)體系。在打磨、裝配和協(xié)作機器人的力控產(chǎn)品方面都有一定的國際影響力。 |
藍(lán)點觸控 | 從事高精度、高性能力傳感器以及力控產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn),在多維力傳感器、關(guān)節(jié)扭矩傳感器、機器人力控技術(shù)等方面擁有深厚的經(jīng)驗積累和技術(shù)優(yōu)勢,現(xiàn)已形成了Wrist六維力傳感器、Joint關(guān)節(jié)扭矩傳感器、力控應(yīng)用軟件包等多個產(chǎn)品系列。 |
海伯森(漢宇集團(tuán)) | 公司在光學(xué)精密測量、工業(yè)2D/3D檢測、機器人智能應(yīng)用等領(lǐng)域形成了成熟的產(chǎn)品矩陣,主營產(chǎn)品包括3D閃測傳感器、3D線光譜共焦傳感器、點光譜共焦位移傳感器、超高速工業(yè)相機和六維力傳感器等。2021年,海伯森HPS-FT系列六維力傳感器獲得全球協(xié)作機器人大廠丹麥優(yōu)傲(universal-robots)獨家認(rèn)證,成為國內(nèi)首家獲得"UR+"官方認(rèn)證的高端智能化傳感器研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)。 |
坤維科技 | 成立于2018年,創(chuàng)始團(tuán)隊均來自航天科研機構(gòu),從事智能型多軸力傳感器研發(fā)、生產(chǎn)及應(yīng)用,掌握力覺測量核心技術(shù),具備自主知識產(chǎn)權(quán)。公司的核心產(chǎn)品——六維力傳感器,以其先進(jìn)的力敏元件及其固化技術(shù)、標(biāo)定檢測技術(shù)、核心算法、智能化硬件賦予機器人、精密制造、測試與測量、航空航天、大健康等領(lǐng)域革命性的機器力覺產(chǎn)品及解決方案,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,準(zhǔn)度(含串?dāng)_)可優(yōu)于0.5%FS。 |
鑫精誠 | 成立于2021年,專注于微型壓力、稱重、多軸力、扭力等多樣化的智能傳感器與控制儀表等工業(yè)級產(chǎn)品的創(chuàng)新研發(fā)和精益生產(chǎn)。為3C自動化設(shè)備、精密醫(yī)療、農(nóng)業(yè)、新能源鋰電、機器人、半導(dǎo)體、航空鐵路等領(lǐng)域提供“力控系統(tǒng)解決方案”與技術(shù)創(chuàng)新,以及高校產(chǎn)學(xué)研合作。 |
神源生智能 | 成立于2012年,致力于力測試技術(shù)的研究及產(chǎn)業(yè)化,主營產(chǎn)品包括多維力傳感器、力矩傳感器、測力平臺、剛度儀等,已應(yīng)用于航空航天、機器人、自動化、科研教學(xué)等行業(yè),并已經(jīng)銷售至美國、德國、丹麥、瑞典等歐美國家。 |
瑞爾特測控 | 成立于2013年,致力于提供力測與自動化控制解決方案,研發(fā)、生產(chǎn)精密微小型測力傳感器、扭矩傳感器、多維力傳感器、稱重 |
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六維力矩傳感器廣泛應(yīng)用于航天航空、汽車測試、生物力學(xué)和機器人等眾多科技領(lǐng)域,行業(yè)出貨量持續(xù)走高。2023年中國六維力矩傳感器行業(yè)出貨量約為0.95萬臺,2024年約達(dá)到1.12萬臺。
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六維力矩傳感器單價昂貴,根據(jù)e-motionsupply和愛采購網(wǎng)站數(shù)據(jù),ATI旗下機器人常用的mini45、axia80m8、nano43型號產(chǎn)品進(jìn)口價格全都超過3萬元人民幣,大型傳感器omega191進(jìn)口價格在10.5萬元。國產(chǎn)廠商海伯森產(chǎn)品標(biāo)價為4.5萬元,F(xiàn)UTEK實驗用大型六維力傳感器價格在10萬-20萬之間。
不同六維力矩傳感器價格比較
公司 | 型號 | 應(yīng)變片種類 | 價格 |
ATI | Mini45TitaniumSeries | 硅應(yīng)變片 | USD8983.0 |
ATI | Mini58Series | 硅應(yīng)變片 | USD7047.9 |
坤維科技 | KWR116 | 金屬應(yīng)變片 | USD2687.0注 |
坤維科技 | KWR96A | 金屬應(yīng)變片 | USD3857.0 |
海伯森 | 060S | 金屬應(yīng)變片 | CNY40000.0 |
瑞爾特 | T521 | 金屬應(yīng)變片 | CNY38000.0 |
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隨著機器人技術(shù)的不斷發(fā)展,對六維力傳感器的需求也在不斷增加。六維力傳感器是實現(xiàn)柔順與智能化控制的關(guān)鍵,尤其在力控精度要求高的場景中至關(guān)重要。隨著AI技術(shù)發(fā)展和政策扶持,人形機器人商業(yè)化進(jìn)程加快,預(yù)計2025年后市場將迅速擴張。盡管人形機器人處于起步階段,預(yù)測其滲透率超過20%后將爆發(fā)式增長。人形機器人規(guī)模增長潛力巨大,將成為六維力傳感器未來最具潛力的應(yīng)用場景之一。
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